THIN FILM FORMING EQUIPMENT,申请号JP19960142299-传众专利搜索

发明名称	THIN FILM FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH09302468(A)	申请公布日期	1997.11.25
申请号	JP19960142299	申请日期	1996.05.13
申请人	RICOH CO LTD	发明人	SATO TATSUYA
分类号	C23C14/32;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56	主分类号	C23C14/32
代理机构		代理人
主权项
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