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发明名称 RESIST COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09299851(A) 申请公布日期 1997.11.25
申请号 JP19960118954 申请日期 1996.05.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 ICHIMURA YUKIO;NAMIKI JUNICHI;TANIGUCHI HIDEAKI
分类号 G03F7/16;B05C3/18;G02F1/1333;H01L21/027;(IPC1-7):B05C3/18;G02F1/133 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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