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发明名称 METHOD FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09301794(A) 申请公布日期 1997.11.25
申请号 JP19960148352 申请日期 1996.05.17
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 AKASHI YOSHIHIRO
分类号 C30B15/20;C30B15/30;C30B15/32;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
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