Megaschallreinigungssysteme, die komprimierte, flüssige Gase verwenden,申请号DE19946001980T-传众专利搜索

发明名称	Megaschallreinigungssysteme, die komprimierte, flüssige Gase verwenden
摘要
申请公布号	DE69401980(T2)	申请公布日期	1997.11.20
申请号	DE19946001980T	申请日期	1994.04.08
申请人	HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US	发明人	STANFORD, THOMAS B. JR., SAN PEDRO, CALIFORNIA 90731, US;CHAO, SIDNEY C., MANHATTAN BEACH, CALIFORNIA 90266, US
分类号	B08B3/12;B08B7/00;C23G5/00;C23G5/04;D06F19/00;D06F43/08;H01L21/00;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/12	主分类号	B08B3/12
代理机构		代理人
主权项
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