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<p>Um bei Proben (48), die mit einer Beschichtung (56) versehen sind, auch die Konzentration von Fremdatomen feststellen zu können, deren Röntgenfluoreszenzspektrum demjenigen eines Proben-Grundmaterials (54) nahekommt oder mit diesem zusammenfällt, wird vorgeschlagen, bei der Bestimmung der Konzentration der Fremdatome streifend von der Oberfläche der Probe ausgehende Fluoreszenzstrahlung (58) zu analysieren.</p> |
