Mechanischer Sensor,申请号DE19946006169-传众专利搜索

发明名称	Mechanischer Sensor
摘要
申请公布号	DE69406169(D1)	申请公布日期	1997.11.20
申请号	DE19946006169	申请日期	1994.03.29
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP	发明人	SAITOU, SHINJI, SUITA-SHI, OSAKA 565, JP
分类号	C23C16/06;G01L1/00;H01L41/12;(IPC1-7):H01L41/12	主分类号	C23C16/06
代理机构		代理人
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