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发明名称
摘要
申请公布号 JP2680798(B2) 申请公布日期 1997.11.19
申请号 JP19950190805 申请日期 1995.07.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/93;H01L29/70;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/93 主分类号 H01L29/93
代理机构 代理人
主权项
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