发明名称 具有浮动集电区的绝缘体上的硅器件
摘要 一种半导体器件包括:硅衬底(1),在所述硅衬底(1)上的绝缘层(2),在所述绝缘层(2)上的硅层(3),所述硅层(3)由第一导电类型(N)的杂质掺杂,从所述硅层(3)的自由表面延伸到所述硅层(3)内的基区(4),所述基区(4)由第二导电类型(P)的杂质掺杂,从所述基区(4)的自由表面延伸到所述基区(4)内的发射区(5),所述发射区(5)由所述第一导电类型(N)的杂质重掺杂,及至少一个从所述硅层(3)的自由表面延伸到所述硅层(3)中的集电区(6),该区距基区(4)一定横向距离,所述集电区(6)由所述第一导电类型(N)的杂质掺杂,设置于所述绝缘层(2)和所述基区(4)之间的所述硅层(3)中的浮动集电区(7),该区距所述基区(4)一定距离,所述浮动集电区(7)的横向伸展部分大于发射区(5)的横向伸展部分,而小于基区(4)的横向伸展部分,所述浮动集电区(7)以重于所述硅层(3)的掺杂量掺杂所述第一导电类型(N)的杂质。
申请公布号 CN1165585A 申请公布日期 1997.11.19
申请号 CN95195973.5 申请日期 1995.10.31
申请人 艾利森电话股份有限公司 发明人 T·B·阿恩博格
分类号 H01L27/07;H01L27/12 主分类号 H01L27/07
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 董巍;陈景峻
主权项 一种半导体器件,包括:硅衬底(1),在所述硅衬底(1)上的绝缘层(2),在所述绝缘层(2)上的硅层(3),所述硅层(3)由第一导电类型(N)的杂质轻掺杂,从所述硅层(3)的自由表面延伸到所述硅层(3)内的基区(4),所述基区(4)由第二导电类型(P)的杂质掺杂,从所述基区(4)的自由表面延伸到所述基区(4)内的发射区(5),所述发射区(5)由所述第一导电类型(N)的杂质重掺杂,及至少一个从所述硅层(3)的自由表面延伸到所述硅层(3)中的集电区(6),该区与基区(4)间有一横向距离,所述集电区(6)由所述第一导电类型(N)的杂质掺杂,其特征在于:所述绝缘层(2)和所述基区(4)之间的所述硅层(3)中设置浮动集电区(7),该区距所述基区(4)一定距离,所述浮动集电区(7)的横向伸展部分大于发射区(5)的横向伸展部分,而小于基区(4)的横向伸展部分,所述浮动集电区(7)以重于所述硅层(3)的掺杂量掺杂所述第一导电类型(N)的杂质。
地址 瑞典斯德哥尔摩
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