| 发明名称 |
MULTI-PHASE DC PLASMA PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0807315(A1) |
申请公布日期 |
1997.11.19 |
| 申请号 |
EP19960905339 |
申请日期 |
1996.01.29 |
| 申请人 |
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
DRUMMOND, GEOFFREY, N. |
| 分类号 |
H02M3/28;C23C14/38;C23C14/54;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/302;H02M3/22;H02M9/06;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/24;H01J37/34;H01H1/36 |
主分类号 |
H02M3/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
