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发明名称
Control system for use with semiconductor device transporting and handling apparatus
摘要
申请公布号
GB9719763(D0)
申请公布日期
1997.11.19
申请号
GB19970019763
申请日期
1997.09.18
申请人
ADVANTEST CORPORATION
发明人
分类号
B65G43/08;B65G49/00;B65G49/07;G01R31/26;H05K13/02;H05K13/08
主分类号
B65G43/08
代理机构
代理人
主权项
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