发明名称
摘要
申请公布号 JP2679809(B2) 申请公布日期 1997.11.19
申请号 JP19880139574 申请日期 1988.06.08
申请人 发明人
分类号 G05F1/56;G05F3/24;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;H03K17/06;H03K17/082;H03K17/567;(IPC1-7):G05F1/56 主分类号 G05F1/56
代理机构 代理人
主权项
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