| 发明名称 |
COATING FILM FORMING METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09298149(A) |
申请公布日期 |
1997.11.18 |
| 申请号 |
JP19960114016 |
申请日期 |
1996.05.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
SEKIMURA HITOSHI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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