发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09298198(A) 申请公布日期 1997.11.18
申请号 JP19960111393 申请日期 1996.05.02
申请人 NEC CORP 发明人 ENDO MAMORU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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