发明名称 VAPOR-DEPOSITION METHOD FOR PIEZOELECTRIC VIBRATOR
摘要
申请公布号 JPH09298437(A) 申请公布日期 1997.11.18
申请号 JP19960112659 申请日期 1996.05.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YADA TOSHIAKI
分类号 H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H03H7/06;H03H7/12;H03H11/04;(IPC1-7):H03H7/01 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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