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发明名称
VAPOR-DEPOSITION METHOD FOR PIEZOELECTRIC VIBRATOR
摘要
申请公布号
JPH09298437(A)
申请公布日期
1997.11.18
申请号
JP19960112659
申请日期
1996.05.07
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YADA TOSHIAKI
分类号
H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H03H7/06;H03H7/12;H03H11/04;(IPC1-7):H03H7/01
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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