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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09298042(A) 申请公布日期 1997.11.18
申请号 JP19960109557 申请日期 1996.04.30
申请人 SONY CORP 发明人 OKAMOTO SHIRO;FUKUOKA SHOJI;KIHARA NOBUO;OSAKA HIROSHI
分类号 H01J37/16;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
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