发明名称 INSPECTION DEVICE FOR LIQUID CRYSTAL DRIVING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09297296(A) 申请公布日期 1997.11.18
申请号 JP19960113952 申请日期 1996.05.08
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD;ISHIKAWAJIMA SYST TECHNOL KK 发明人 KAJI KATSUHIRO;NISHIDA KAZUHIRO;TACHIKAWA SHIGERU
分类号 G02F1/1333;G02F1/1345;(IPC1-7):G02F1/133;G02F1/134 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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