| 发明名称 |
DEFECT INSPECTING DEVICE AND ADJUSTING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09297107(A) |
申请公布日期 |
1997.11.18 |
| 申请号 |
JP19960113552 |
申请日期 |
1996.05.08 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI AKIRA;KUBO HIROYASU;OKUMURA KAZUMASA |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/84;(IPC1-7):G01N21/84 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
