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发明名称 VORRICHTUNG ZUR ELEKTROLYTISCHEN OXIDATION VON SILIZIUM-WAFERN
摘要
申请公布号 AT160181(T) 申请公布日期 1997.11.15
申请号 AT19940910635T 申请日期 1994.03.17
申请人 DAIMLER-BENZ AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GRIMMEISS, HERMAN GEORG;LINDBLADH, ANDERS CHRISTER;MANDENIUS, CARL-FREDERIK ANTON;PERSSON, MATS OTTO
分类号 C25D11/00;C25D11/32;C25D17/08;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C25D11/32 主分类号 C25D11/00
代理机构 代理人
主权项
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