发明名称 |
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON NIOBOXID ENTHALTENDEN OPTISCHEN BESCHICHTUNGEN MITTELS REAKTIVER GLEICHSTROMZERSTÄUBUNG |
摘要 |
A multilayer optical coating including at least one layer of niobium oxide deposited by DC reactive sputtering. |
申请公布号 |
AT160107(T) |
申请公布日期 |
1997.11.15 |
申请号 |
AT19910918239T |
申请日期 |
1991.07.31 |
申请人 |
VIRATEC THIN FILMS, INC. |
发明人 |
DICKEY, ERIC, R.;STEFFENHAGEN, DEBRA, M. |
分类号 |
B32B7/02;B32B9/00;C03C17/34;G02B1/11;G02B5/28;(IPC1-7):B32B17/06;C23C14/08;G02B5/00;G02B1/10 |
主分类号 |
B32B7/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|