PROCEDE ET DISPOSITIF A DEUX CAMERAS D'OBSERVATION POUR DES MESURES TRIDIMENSIONNELLES D'UNE STRUCTURE COMPLEXE

摘要

Le procédé de l'invention consiste essentiellement à envoyer deux faisceaux lumineux d'éclairage sur la structure à observer et un troisième faisceau d'éclairage, à envoyer le faisceau lumineux réfléchi par l'ensemble de la structure 2 vers une caméra vidéo 11 à champ large et le faisceau lumineux réfléchi par une zone localisée 2a vers une caméra vidéo 12 à champ étroit et vers un spectrographe 8a à travers une fibre optique 6 et une fente d'analyse 39 à l'entrée du spectrographe 8a, et à effectuer une analyse spectrale du faisceau lumineux réfléchi pour mesurer l'épaisseur absolue de la couche superficielle de la structure à couches minces 2.