发明名称 Geschwindigkeitsverbesserer für säuresensibilisierten Photolack
摘要
申请公布号 DE69125745(T2) 申请公布日期 1997.11.13
申请号 DE1991625745T 申请日期 1991.01.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BRUNSVOLD, WILLIAM ROSS, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12603, US;KNORS, CHRISTOPHER JOHN, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US;MONTGOMERY, MELVIN WARREN, NEW WINDSOR, NEW YORK 12550, US;MOREAU, WAYNE MARTIN, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US;WELSH, KEVIN MICHAEL, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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