Hochgeschwindigkeits-SOI-Bauelement und Herstellungsverfahren dafür
摘要
申请公布号
DE69127837(D1)
申请公布日期
1997.11.13
申请号
DE19916027837
申请日期
1991.01.23
申请人
HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US
发明人
LI, MEI, MISSION VIEJO, CALIFORNIA 92691, US;CHANG, CHEN-CHI P., NEWPORT BEACH, CALIFORNIA 92660, US;CHIN, MAW-RONG, HUNTINGTON BEACH, CALIFORNIA 92646, US