发明名称 Hochgeschwindigkeits-SOI-Bauelement und Herstellungsverfahren dafür
摘要
申请公布号 DE69127837(D1) 申请公布日期 1997.11.13
申请号 DE19916027837 申请日期 1991.01.23
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 LI, MEI, MISSION VIEJO, CALIFORNIA 92691, US;CHANG, CHEN-CHI P., NEWPORT BEACH, CALIFORNIA 92660, US;CHIN, MAW-RONG, HUNTINGTON BEACH, CALIFORNIA 92646, US
分类号 H01L21/02;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12;H01L21/86 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址