Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung,申请号DE1990631543-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号	DE69031543(D1)	申请公布日期	1997.11.13
申请号	DE1990631543	申请日期	1990.02.15
申请人	MATSUSHITA ELECTRONICS CORP., KADOMA, OSAKA, JP	发明人	OZAKI, HIDETO, KAMIKATSURA 503, KYOTO, KYOTO, JP;MAYUMI, SHUICHI, NISHINAKAMACHI 25, KYOTO, KYOTO, JP;UEDA, SEIJI, OTSU-SHI, SHIGA, JP
分类号	H01L21/768;H01L23/485;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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