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发明名称
Verfahren der in-situ-Dotierung von abgeschiedenem Silizium
摘要
申请公布号
DE69030864(T2)
申请公布日期
1997.11.13
申请号
DE1990630864T
申请日期
1990.11.02
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US
发明人
TANG, THOMAS E., DALLAS, TEXAS 75248, US
分类号
C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/334;H01L21/763;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/82
主分类号
C23C16/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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