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发明名称 Vorrichtung zur Herstellung eines Verbundhalbleiters
摘要
申请公布号 DE19719716(A1) 申请公布日期 1997.11.13
申请号 DE19971019716 申请日期 1997.05.09
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 KATAMIME, TOSHIHISA, SATTE, SAITAMA, JP;IYECHIKA, YASUSHI, TSUKUBA, IBARAKI, JP;ONO, YOSHINOBU, IBARAKI, JP;TAKADA, TOMOYUKI, TSUKUBA, IBARAKI, JP;INUI, KATSUMI, TSUKUBA, IBARAKI, JP
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/10;C30B25/14;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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