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发明名称 Multi-electrode electrostatic chuck
摘要
申请公布号 EP0692814(B1) 申请公布日期 1997.11.12
申请号 EP19950111186 申请日期 1995.07.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SHAMOUILIAN, SHAMOUIL;BROYDO, SAMUEL;BIRANG, MANOOCHER
分类号 H01L21/683;B23Q3/15;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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