| 发明名称 |
A process for controlled deprotection of polymers and a process for fabricating a device utilizing partially deprotected resist polymers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0608983(B1) |
申请公布日期 |
1997.11.12 |
| 申请号 |
EP19940300202 |
申请日期 |
1994.01.12 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
BOHRER, MICHAEL PHILIP;MIXON, DAVID ANTON |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/029;G03F7/033;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039;C08F8/00 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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