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发明名称 Vorrichtung und Methode zum Schützen der Rückseite einer Scheibe während der Bearbeitung
摘要
申请公布号 DE69127865(D1) 申请公布日期 1997.11.13
申请号 DE19916027865 申请日期 1991.07.15
申请人 NOVELLUS SYSTEMS, INC., SAN JOSE, CALIF., US;NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 THOMAS, MICHAEL E., MILPITAS, CALIFORNIA 95035, US;VAN DE VEN, EVERHARDUS P., CUPERTINO, CALIFORNIA 95014, US;BROADBENT, ELIOT K., SAN JOSE, CALIFORNIA 95148, US
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;C30B25/12;C30B31/14;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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