| 发明名称 |
Focused ion beam apparatus and method for irradiating focused ion beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0734045(A3) |
申请公布日期 |
1997.11.12 |
| 申请号 |
EP19960103903 |
申请日期 |
1996.03.12 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
ISHITANI, TOHRU;OHNISHI, TSUYOSHI |
| 分类号 |
H01J37/08;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/26;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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