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发明名称 Apparatus and method for dry etching
摘要
申请公布号 GB9719067(D0) 申请公布日期 1997.11.12
申请号 GB19970019067 申请日期 1997.09.08
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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