蓝色发光元件及其制造方法

摘要

一种通过较少步骤的工艺过程制造氮化镓型蓝色发光器件的方法。该器件包括这样一个多层结构，它包含一个用第一导电类型杂质掺杂的第一氮化镓半导体层、一个实质上本征的氮化镓半导体活性层和一个用与第一导电类型相反的第二导电类型杂质掺杂的第二氮化镓半导体层。在该器件的制造中，第一和第二氮化镓半导体层及氮化镓半导体活性层是通过高温CVD形成的，并且随后被留在一种惰性气体中以便自然冷却。

主权项

1.一种蓝色发光元件，包括一个含有第一导电类型杂质的第一氮化镓基半导体层、一个实质上本征的氮化镓基半导体活性层、及一个含有与第一导电类型相反的第二导电类型杂质的第二氮化镓基半导体层，第一和第二氮化镓基半导体层和氮化镓基半导体活性层是按照高温CVD方法形成的，并被留在一种惰性气体中自行冷却，以便百分之七或更多的杂质被激活。