| 发明名称 |
Vacuum tweezer for carrying a semiconductor wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2308347(B) |
申请公布日期 |
1997.11.12 |
| 申请号 |
GB19960011634 |
申请日期 |
1996.06.04 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
MIN-HO * LEE;HYUN-SANG * CHO |
| 分类号 |
B25J15/06;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):B25J15/06;B25B11/00 |
主分类号 |
B25J15/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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