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发明名称
Chemically amplified positive resist composition
摘要
申请公布号
EP0747768(A3)
申请公布日期
1997.11.12
申请号
EP19960109089
申请日期
1996.06.05
申请人
FUJI PHOTO FILM CO., LTD.
发明人
YAMANAKA, TSUKASA;AOAI, TOSHIAKI;FUJIMORI, TORU
分类号
G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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