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发明名称 AUTOMATIC APPEARANCE INSPECTION DEVICE FOR SURFACE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09293763(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960105248 申请日期 1996.04.25
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 KAWABE SHINYA
分类号 G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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