| 发明名称 |
WIRING FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09293726(A) |
申请公布日期 |
1997.11.11 |
| 申请号 |
JP19960105723 |
申请日期 |
1996.04.25 |
| 申请人 |
ROHM CO LTD |
发明人 |
HAMAZAWA YASUSHI;KUMANO NOBORU;MURATAKE SHINJI;TAKAHASHI HARUO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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