| 发明名称 |
PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE PROVIDED WITH OPTICAL WINDOW REPLACING DEVICE AND OPTICAL WINDOW REPLACING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09291361(A) |
申请公布日期 |
1997.11.11 |
| 申请号 |
JP19960053492 |
申请日期 |
1996.03.11 |
| 申请人 |
KANKOKU DENRYOKU KOUSHIYA |
发明人 |
YAN CHIYAN UOMU;IN HOO HOWAN;KEN SUU RIMU;CHIYAN HIYUN RII |
| 分类号 |
C30B35/00;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/48 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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