| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM/POWDER USING MIXED SOLID AS RAW MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09291357(A) |
申请公布日期 |
1997.11.11 |
| 申请号 |
JP19960131205 |
申请日期 |
1996.04.25 |
| 申请人 |
KAWASAKI HEAVY IND LTD |
发明人 |
IMURA TATSUYA;MURAKAMI AKIHIRO;TERADA SEIJI |
| 分类号 |
B22F9/04;C23C14/12;C23C14/28;H01S3/00;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
B22F9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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