发明名称 |
TREATMENT OF PERIPHERY OF RESIST COATED SUBSTRATE AND ITS RESIST-COATED SUBSTRATE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09292716(A) |
申请公布日期 |
1997.11.11 |
申请号 |
JP19960102663 |
申请日期 |
1996.04.24 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ITO MICHIHARU;ISHIKAWA NOBUYUKI |
分类号 |
G03F7/16;(IPC1-7):G03F7/16 |
主分类号 |
G03F7/16 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|