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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09293790(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960105207 申请日期 1996.04.25
申请人 NEC CORP 发明人 INOUE AKIRA
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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