| 发明名称 |
TRANSMISSIVE MASK FOR CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER USE AND ALIGNER UTILIZING THAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09293654(A) |
申请公布日期 |
1997.11.11 |
| 申请号 |
JP19960105137 |
申请日期 |
1996.04.25 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MARUYAMA SHIGERU;YASUDA HIROSHI;DAIKYO YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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