发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09293861(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960108142 申请日期 1996.04.26
申请人 DENSO CORP 发明人 OKABE YOSHIFUMI;KATAOKA MITSUHIRO;TOMATSU YUTAKA
分类号 H01L21/331;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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