| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09293797(A) |
申请公布日期 |
1997.11.11 |
| 申请号 |
JP19960105257 |
申请日期 |
1996.04.25 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
YOKOYAMA HIROAKI;KOMURO TOSHIO |
| 分类号 |
H01L29/41;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L29/41 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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