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发明名称 LASER ANNEALING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09293688(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960102925 申请日期 1996.04.24
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 HAMADA SHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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