发明名称 GAS FLOW-RATE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH09292380(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960131109 申请日期 1996.04.26
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KOMORI KYOICHI
分类号 G01N30/32;(IPC1-7):G01N30/32 主分类号 G01N30/32
代理机构 代理人
主权项
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