| 发明名称 |
FLAW INSPECTION METHOD FOR INSULATING FILMS OF SEMICONDUCTOR STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2095885(C1) |
申请公布日期 |
1997.11.10 |
| 申请号 |
RU19950121201 |
申请日期 |
1995.12.14 |
| 申请人 |
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT IZMERITELNYKH SISTEM |
发明人 |
SKUPOV VLADIMIR D |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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