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发明名称 Self-aligned via and contact interconnect manufacturing method
摘要
申请公布号 AU5539696(A) 申请公布日期 1997.11.07
申请号 AU19960055396 申请日期 1996.04.15
申请人 SPIDER SYSTEMS, INC. 发明人
分类号 H01L21/283;H01L21/308 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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