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发明名称 Methode und Vorrichtung zur Messung der Grösse von Teilchen oder Fehlern
摘要
申请公布号 DE69314205(D1) 申请公布日期 1997.11.06
申请号 DE19936014205 申请日期 1993.03.26
申请人 MITSUI MININGS & MELTING CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MORIYA, KAZUO, AGEO-SHI, SAITAMA-KEN, JP
分类号 G01N15/02;G01N15/14;G01N21/47;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N15/02 主分类号 G01N15/02
代理机构 代理人
主权项
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