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发明名称 Verfahren zur Herstellung von integrierten Schaltungen mit vergrabenen dotierten Gebieten
摘要
申请公布号 DE68928060(T2) 申请公布日期 1997.11.06
申请号 DE19896028060T 申请日期 1989.10.05
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 BELL, DAVID A., RICHARDSON TEXAS 75080, US;HAVEMANN, ROBERT H., GARLAND TEXAS 75042, US
分类号 H01L21/74;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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