| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING THIN GROUP IIIA METAL FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0804631(A1) |
申请公布日期 |
1997.11.05 |
| 申请号 |
EP19940922946 |
申请日期 |
1994.07.29 |
| 申请人 |
SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE,ACTING TROUGH HIS DEFENCE EVALUATION RESEARCH AGENCY |
发明人 |
JONES, ANTHONY COPELAND |
| 分类号 |
C01G15/00;C23C16/18;C23C16/20;C23C18/08;C23C18/10;(IPC1-7):C23C16/18 |
主分类号 |
C01G15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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