| 发明名称 |
Imaging method for manufacture of microdevices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0500393(B1) |
申请公布日期 |
1997.11.05 |
| 申请号 |
EP19920301476 |
申请日期 |
1992.02.21 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SUZUKI, AKIYOSHI;NOGUCHI, MIYOKO |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/53 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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